TDG-LED 2、4英寸藍寶石襯底 支持訂製

製造商

TDG-LED事业群

公司與日本第一機電合作,引進,吸收先機長晶方法產出優質晶錠,採用先進設備儀器製造LED藍寶石基片,保證高質量,高良品率

  4英寸襯底規格如下：

 

性能                                  目標值                                         誤差

 材料                                高純度單晶氧化鋁Al2O3       ﹥99.995%

直徑                                 100 mm (4inch)                          ±0.1mm

厚度                                  650 μm                                        ±25mm

a面（11-20）取向        0°                                               ±0.1°

m面（1-100）取向       0.35°                                        ±0.1°

定位面長度                    31mm                                           ±1mm

定位面方向                    a面                                               ±1.5°

倒角形狀                         雙面45°                                    ±5°

倒角寬度                        150μm                                          ±50μm

背面粗糙度                    0.8μm                                           ±0.3μm

正面粗糙度                    ≦0.2nm 

總體厚度偏差                ≦20μm

翹曲度                              ≦25μm

彎曲度                              ±15μm