製造商 | 天通控股股份有限公司 |
學成分 高純單晶氧化鋁Al2O3 - 純度 >99.996 % 位錯密度 <104 cm-2 表面晶向 C-plane(0001)±0.2 Degrees M軸偏離角度 0.2±0.1 Degrees A軸偏離角度 0.2±0.1 Degrees 直徑 Φ50.8 ± 0.08 Φ50.0 ± 0.08 mm 厚度 430±15 330±15 μm 標記平面晶向 A-axis(11-20)± 0.2 Degrees 標記面寬度 16±0.5 mm 正面 精細拋光(開盒即用) - 正面粗超度(Ra) ≦ 0.3 nm 被面粗超度 (Ra) 0.5 ~ 1 μm 總厚度偏差 ≦ 8 μm 翹曲度 0~-9 μm 彎曲度 ≦ 9 μm 邊緣倒角 C=45 Degrees 包裝 100級潔凈車間,25片或單片真空/充氮包裝 盒