目视检测机 IL C3400

目视检测机用于半导体行业，以在各个工艺步骤之间宏观地评估晶片表面质量。使用两种不同的照明方法，系统可以快速检测大小为几微米的宽范围缺陷。

目视检测机检测嵌入式缺陷和表面颗粒、层的划痕和裂纹、残余物或层的不均匀性和暴光缺陷。 先进的照明技术确保了照明器的超长使用寿命，这保证了低拥有成本。