Plessey訂購Aixtron的集群設備拓展LED產能

Plessey Semiconductors Ltd訂購了一套AIX G5+C集群系統,以拓展在硅晶圓上製造氮化鎵 (LED)(「硅基氮化鎵」)的產能。(圖片來源:Aixtron)

半導體行業沉積設備提供商AIXTRON愛思強股份有限公司宣佈,Plessey Semiconductors Ltd訂購了一套AIX G5+C集群系統,以拓展在硅晶圓上製造氮化鎵 (LED)(「硅基氮化鎵」)的產能。 這套設備計劃在2016年第三季度交付。

Plessey訂購的AIX G5+C集群設備包括兩組多晶圓AIX G5+反應器,輔以AIXTRON愛思強新一代針對大規模、全自動化外延生產的盒對盒裝卸裝置。 Plessey購買AIXTRON愛思強行星式系統,主要是為了拓展150毫米硅基氮化鎵的產量,而隨著AIXTRON愛思強G5+實現同時處理8個150毫米晶圓或5個200毫米晶圓的目標,Plessey也在中期內努力達到200毫米生產驗證。

Plessey的營運總監Mike Snaith表示: 「我們的硅基氮化鎵LED產品目前從生產能力論證階段進入到產能擴展階段。 我們已經在一系列LED產品方面積累了大量需求。 隨著AIX G5+C以最低的運營成本將高度的晶圓均勻性和批次表現相結合,我們已決定購買AIXTRON愛思強最新的行星式系統,這些方面對於高效量產硅基氮化鎵晶圓而言至關重要。」

AIXTRON愛思強的歐洲副總裁Frank Schulte博士評論道: 「我們與Plessey建立了長期互信的商業關係,因此,我們很高興接到重續訂單。 我們的AIX G5+C Planetary®系統通過其全自動化盒對盒裝卸裝置和熱激活氣體刻蝕MOCVD反應腔室,解決了在以大面積硅晶圓為基底生產氮化鎵材料時,如何實現高良率、高品質和高產量的常見挑戰。」
 

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