設備

8164
人瀏覽

MOCVD的應用範圍

最近LED產業除了有大量的MOCVD新機台成軍外,業界關注的另一個焦點是也有LED廠商要打造三五族的太陽能電池,MOCVD的應用有哪些呢?我們來看看。 金屬有機化學氣相沉積系統(MOCVD)是利用金屬有機化合物作為源物質的一種化學氣相澱積(CVD)製程,其原理為利用有機金屬化學氣相沉積法metal-organic chemical vapor deposition.MOCVD是一種利用氣相反應物,或是前驅物precursor和Ⅲ族的有機金屬和V族的NH3,在基材substrate表面進行反應,傳到基材襯底表面固態沉積物的製程。 .. 閱讀全文
相關關鍵字:
9777
人瀏覽

簡述LED晶片生產過程與何謂MOCVD?

LED晶圓(外延片)
LED晶片產生前的LED晶圓磊晶生長的基本原理是:在一塊加熱至適當溫度的襯底基片(主要有藍寶石和、SiC、Si)上,氣態物質InGaAlP有控制的輸送到襯底表面,生長出特定單晶薄膜。目前LED外延片生長技術主要採用有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)方法。 MOCVD
金屬有機物化學氣相澱(Metal-OrganicChemicalVaporDeposition,簡稱 MOCVD), 1968年由美國洛克威爾公司提出來的一項製備化合物半導體單品薄膜的新技術。該設備集精密機械、半導體材料、真空電子、流體力學、光學、化學、電腦多學科為一體,是一種自動化程度高、價格昂貴、技術集成度高的尖端光電子專用設備,主要用於GaN(氮化鎵)系半導體材料的外延生長和藍色、綠色或紫外發光二極體晶片的製造,也是光電子行業最有發展前途的專用設備之一。 LED晶片的生產過程
LED晶圓(外延片)的生產製作過程比較複雜:
1.展完外延片後在每張外延片隨意抽取九點做測試。符合要求的為良品,其他為不良品(電壓偏差很大,波長偏短或偏長等)。 .. 閱讀全文
相關關鍵字:
訂閱文章