目前市場上LED用到的襯底材料有藍寶石、碳化矽SiC、矽Si、氧化鋅 ZnO、 以及氮化鎵GaN,中國市場上99%的襯底材料是藍寶石,而就全球範圍來看,藍寶石襯底的LED市場份額也佔到95%以上。 但是藍寶石襯底的LED技術已發展成熟,相關專利網已被.. 更多
美國Lumileds公司於2001年研製出了AlGaInN功率型倒裝晶片(FCLED)結構,其製造流程是:首先在外延片頂部的P型GaN上澱積厚度大於500A的NiAu層,用於歐姆接觸和背反射;再採用掩模選擇刻蝕掉P型層和多量子阱有源層,露出N型層;經澱積、刻.. 更多