威科儀器公司（Veeco Instrument Inc.）今天宣布與ALLOS半導體（ALLOS Semiconductors）完成一項戰略措施，以展示 200mm 矽基板用於氮化鎵（GaN）藍／綠光 Micro LED 的生產上。威科儀器與 ALLOS合作將其專有的磊晶技術轉移到單晶圓 Propel有機金屬化學氣象沉積（MOCVD）系統上，以便於現有的矽生產線上實現生產 Micro LED。

 

ALLOS 半導體公司執行長 Burkhard Slischka 表示，「使用 Propel 反應腔，我們就擁有一項 MOCVD 技術來實現高產能的氮化鎵磊晶，可滿足在 200mm 矽生產線上生產 Micro LED 元件的所有要求。不到一個月的時間，我們就已經在 Propel 上建立了我們的技術，並且獲得了無裂紋、無回熔（meltback-free）的晶圓，其曲度低於 30 微米，晶體品質高，優異的厚度均勻性與小於 1nm 的波長均勻性。和威科儀器合作，ALLOS 期待將這種技術更廣泛地應用於

Micro LED 的產業中。」

 

Micro LED 顯示技術由小於 30x30 平方微米的紅色、綠色和藍色（RGB）無機 LED 所組成，再轉化為顯示器背板以形成子像素。與 OLED 和 LCD 相比，這些高效率 LED 直接發射且耗電量更低，卻可以為移動顯示器，電視機和穿戴式裝置提供卓越的亮度和對比度。Micro LED 的製造需要高質量、均勻的磊晶片來滿足顯示器的產量和成本控制的目標。

 

「與競爭對手的 MOCVD 平台相比，由於威科儀器的 TurboDisc 技術提供了更廣泛的製程範圍，因此 Propel提供了一流的均勻性同時還能獲得優良的薄膜品質。」威科儀器高級副總裁兼 MOCVD 營運總經理 Peo Hansson 博士表示，「將威科儀器領先的 MOCVD 專業技術與 ALLOS矽基氮化鎵（GaN-On-Silicon）磊晶技術結合在一起，使我們的客戶能夠開發出低成本的 Micro LED，為新的市場中的開拓出新的應用。」