三星跟進英特爾、台積電一起參與艾司摩爾合資案，業界並不意外，艾司摩爾有這3家全球半導體大廠的背書，也讓極紫外光（EUV）技術與8吋晶圓的未來發展增添好兆頭。
不過，三星僅入股ASML3%，是3家持股最少的合資者，甚至與艾司摩爾原先希望5%為1單位的計劃不符合，有人推測，三星可能面臨蘋果訴訟官司費用大增，加上內存市況不佳，才會成為這次入股艾司摩爾金額最少的合資者。
據了解，出資少不代表以小搏大的效用最大，因為這次艾司摩爾與3家業者談合資，是以“3：1”的方式來簽約，也就是合資者每投入1元的研發（R&D）就能拿到3單位股票，意思是說，一旦EUV開發有成，ASML因此股價水漲船高，業者每1元的投資，就有3單位的股票潛在收益。
也就是說，不管是英特爾的15%、還是台積電的5%，或者是三星的3%，都是站在“3：1”這樣的投資公平比例基礎上，此外，無論是誰，取得這項股權投資案，根據契約將有2.5年的股票閉鎖期。
