愛思強股份有限公司日前宣布，日本大阪大學向其訂購一套能處理4英寸基材的愛思強BM* Pro系統。該訂單已於2012年第三季度接獲。
在Matsumoto教授和Maehashi助理教授的帶領下，產業科學研究所半導體電子部的研究人員將利用這套新設備生產適用於生物感測器的碳納米管(CNT)及石墨烯結構。目的是通過結合使用石墨烯場效應晶體管和抗體、抗原及適配體等有機藥品，實現對特定蛋白質進行電子檢測。此外，這套BM Pro系統還將用於生產適用於微機電系統(MEMS)和能量存儲裝置的碳納米管。
愛思強納米技術設備總監Ken Teo博士表示：“我們的系統之所以能獲得大阪大學的青睞，是因為它能提供具有成本效益的整體解決方案，由我們來處理複雜的CVD過程，讓研究人員可以將更多時間和精力投入到元件細節的研發中。BM Pro系統操作簡易、具備出色的靈活性和成熟的工藝，能以可重複生產的方式可靠地為客戶生長多種納米管和石墨烯，是對流程可靠性具有高要求的器件開發項目的完美選擇。憑借我們的技術，客戶還可以選擇使用BM 300T 系統大規模生產300毫米晶圓，流程轉移簡單易行。”
為滿足生長多種石墨烯和碳納米管同時實現高度的質量一致性的要求，愛思強BM Pro系統配備了升溫速率高達300度/分鐘的高性能加熱器、頂置式晶圓溫度控制、脈衝等離子體和自動處理工藝。該系統專為多用戶實驗室設計，具備詳細的數據記錄功能、安全聯鎖裝置和反應器集成監控攝像頭，保證可靠的流程監控。
