中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱中微公司）1日發表投資者關係活動記錄表，透露公司刻蝕產品和MOCVD產品等業務近況。

2021年中微營業收入31.08億人民幣，刻蝕設備收入為20.04億人民幣，占收入比例約為64.48%；MOCVD設備收入為5.03億人民幣，占收入比例約16.18%。2021年新簽訂單41.3億人民幣，同期相比增長90.5%，以刻蝕產品為主。

產品交期方面，中微半導體刻蝕產品、MOCVD設備2021年準時交付，目前刻蝕設備交期較過去長。

中微2021年6月發表Prismon UiMax MOCVD設備，是氮化鎵基Mini LED外延片量產。截至2021年12月9日，Prismo UniMax MOCVD設備訂單超過100腔，毛利率有大幅提升。中微表示新款MOCVD設備Prismo UniMax 主要針對Mini LED設計，性能、複雜性顯著提高，可為客戶提供更多價值，毛利率明顯增長。

對Mini LED市場前景與公司相應佈局，2021年以來Mini LED在電視機領域取得良好應用，顯示器、筆電、平板等領域，Mini LED產品也不斷誕生並量產。MOCVD設備銷售也將以Mini LED（背光領域）和Micro LED（直顯領域）設備為主。

刻蝕設備業務方面，中微公司積極關注下游市場擴產計劃並努力爭取各種市場機會。刻蝕設備在中國主要客戶端市佔率不斷提升。邏輯積體電路製造環節，12吋高階刻蝕設備用於國際客戶65~5奈米等先進晶片產線。

薄膜設備方面，已組建團隊開發LPCVD設備和EPI設備，研發進展按計劃進行，同時適當時機透過併購等外延式成長途徑擴大產品和市場覆蓋。

南昌基地和臨港基地建設進展情況，南昌基地和臨港基地建設進展照既定計劃進行。南昌基地廠內主要道路施工完畢，各主要單位建築均封頂。臨港產業化基地2021年6月20日舉行開工儀式，規劃總建築面積約18萬平方公尺，已封頂。

中微南昌基地目總投資約10億人民幣，總建築面積約14萬平方公尺，專案總投資約10億人民幣，用於MOCVD（有機金屬化學氣相沉積）裝備研發、製造及創新中心用。中微臨港基地項目總投資約15億人民幣，專案建成可滿足積體電路、泛半導體設備研發、測試和產業化需求。（LEDinside整理）