1月14日，中微公司發布2023年年度業績預告稱，公司預計2023年營業收入約62.6億人民幣，較2022年增加約15.2億人民幣，年增約32.1%。其中，2023年蝕刻設備銷售約47.0億人民幣，較去年同期成長約49.4%；MOCVD設備銷售約4.6億人民幣，較去年同期下降約34.0%。公司從2012年到2023年超過十年的平均年營業收入成長率超過35%。

新增訂單方面，中微公司預計2023年新增訂單金額約83.6億人民幣，較2022年增加約20.4億人民幣，年增約32.3%。其中刻蝕設備新增訂單約69.5億人民幣，較去年同期成長約60.1%；MOCVD設備新增訂單約2.6億人民幣，由於終端市場波動影響，較去年同期下降約72.2%。

據悉，中微公司主要從事高階半導體設備及泛半導體設備的研發、生產及銷售，主要為積體電路、LED外延片、功率元件、MEMS等半導體產品的製造業提供蝕刻設備、MOCVD設備、薄膜沉積設備及其他設備。

在2023年半年報中，中微公司表示，等離子蝕刻設備已應用在國際第一線客戶從65奈米到14奈米、7奈米和5奈米及更先進的積體電路加工製造生產線及先進封裝生產線；薄膜沉積設備已付運客戶端驗證評估，已如期完成多道製程驗證；MOCVD設備在業界領先客戶的生產線上大規模投入量產。

而在最新發布的業績預告中，中微公司在新產品研發上有了更進一步的突破。

據悉，中微公司近兩年新開發的LPCVD設備和ALD設備，已有四款設備產品進入市場，其中三款設備已獲得客戶認證，並開始得到重複性訂單；公司新開發的矽和鍺外延EPI設備、晶圓邊緣Bevel蝕刻設備等多個新產品，也將在近期投入市場驗證；公司開發的包括碳化矽功率裝置、氮化鎵功率裝置、Micro LED等裝置所需的多類MOCVD設備也取得了良好進展，2024年將會陸續進入市場。

（LEDinside Lynn整理）