熱解氮化硼（PBN/PG）複合加熱器

製造商

山東國晶新材料有限公司

 

 產品概述及特點

使用CVD法製造的高純度的產品。PBN對腐蝕性氣體具有惰性，因為是高純度，所以在高溫下釋放出的氣體很少，能很好的應對熱衝擊，在特定情況下可以在1500℃以上的環境中使用。PG是進行面加熱因而加熱快，PBN的熱傳導性很好，所以加熱面有很好的均熱特性。

產品應用

1.半導體基體加熱（應用於MBE、MOCVD、濺射鍍膜、CVD等）；

2.超導體基體加熱；

3.樣品分析過程中的樣品加熱；

4.電子顯微鏡樣品加熱；

5.金屬加熱；

6.金屬蒸發熱源。