碳化硅（SIC）塗層石墨基座

製造商

山東國晶新材料有限公司

■產品概述

　　SIC塗層石墨基座具有耐高溫、抗氧化、純度高、和耐酸鹼鹽及有機試劑等特性，物理化學性能穩定。與高純度石墨相比較，高純石墨在400℃開始發生強烈氧化，即使溫度不高，長期應用也因氧化而掉粉末，會依附工件和檯面或污染使用環境，因此SIC塗層石墨基座作為一種新耗材在MOVCD設備、粉末燒結等工序上逐步代替了高純石墨基座。

　　本公司生產的SIC塗層石墨基座等產品塗層是在高溫條件下，使特種氣體釋放出硅，硅和碳直接結合，從而將特定形狀石墨基體包裹起來，形成SIC保護層，所形成的SIC牢牢的巴結在石墨基體上，賦予石墨基體特殊的性能，從而使石墨基座表面緻密，無孔隙、耐高溫、抗溶蝕、抗氧化。

■主要特點：

●     高溫抗氧化：抗氧化,溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好。

●     純度高：高溫氯化條件下化學氣相沉積方法制得的。

●     耐沖刷：硬度高、表面緻密、顆粒細。

●     抗腐蝕性：耐酸、鹼、鹽及有機試劑。

■主要參數：

●   SIC表面層為β－碳化硅  屬面心立方。

●     晶格常數α0.434mm。

●     具有高純度和各相異性。

●     SIC塗層具有較高的熱導率 80W/m·k。

●     密度在 3.15－3.20g/cm3。

●     熱膨脹係數 4.8×10－6 ℃－1。

■碳化硅（SIC）塗層產品應用：

●     MOCVD設備中，GaN外延生長用的石墨基座塗層。

●     單晶硅外延生長用的石墨基座塗層，平板基座、圓形基座、立體基座。

●    單晶硅器件燒結爐用的石墨底盤塗層。

●     石墨加熱器上的表面塗層（平板加熱器、圓形加熱器、筒形加熱器等等）。

●     各種氧化物隧道窯中燒結用的石墨匣缽塗層。

●     粉末冶金連續燒結用的石墨基座塗層。

●    SIC塗層經光學技術修磨用於太空反射鏡。