ALN 真空濺鍍系統 (@PSS上)

製造商

友威科技股份有限公司

 

台灣友威科技股份有限公司

LED ALN Sputter system

系統特色：

全系統可搭配2”, 4”, 6”治具生產

全機無油設計、磁性流體傳動導入

專利 Cathode 設計

真空高溫技術

提昇發光亮度

縮短 GaN 成長時間

磊晶工藝範圍變寬

提升磊晶製程良率

提升磊晶產能

友威技術能量：PVD、CVD、Plasma Etching

公司網址:http://www.uvat.com

 

業務窗口: 友威科技

連繫手機: +886-4-25653755

e-mail: Sales@uvat.com