環球晶將於LED TAIWAN發表關鍵材料最新成果

中美晶(5483)旗下矽晶圓廠環球晶(6488)今(1)日表示,4月13至16日將於「LED TAIWAN 2016」會中發表寬能隙半導體元件(Wide Bandgap Semiconductor Device)關鍵材料最新研發成果,依功率元件的應用功率,分別展出矽(Si)、氮化鎵(GaN)及碳化矽(SiC)產品。

環球晶並指出,矽產品將展出3吋至12吋晶圓,包括磊晶片、退火片、拋光片及SOI;氮化鎵產品將展出6吋及8吋Crack Free GaN/Si;以及碳化矽產品將展出晶球及雙拋晶片。

環球晶表示,目前在矽晶圓產品可因應客戶端產品應用之不同,提供具有超平坦、超高或超低阻值等各式需求產品,進而開發適合氮化鎵使用之強化矽基板;新基材的研發產品可大幅改善因應力引起之破裂翹曲等問題,有助於後製程使用者提昇良率,同時其高穩定性可讓使用者感受到製程可調動範圍變寬,以利加速產品開發。
 

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