Veeco推出MOCVD新系統TurboDisc E475
2007-10-15 10:39 [編輯：ivan]
近日，Veeco宣布推出TurboDisc(R) E475(TM) As/P MOCVD新系統，用于生産紅、橙、黃（ROY）高亮度LED和多結III-V聚光太陽能電池。
TurboDisc As/P MOCVD新系統可提供其它競爭産品無可比擬的生産控制和穩定性，還可大大降低生産ROY HB-LED、LD、PHEMT、HBT的成本。先進的MOCVD系統以Veeco的Integrated RealTemp(R)200技術爲主要特色，還具有直接晶圓溫度控制、快速氣體切換及真空進料自動化等特點，材料質量出衆，生産效率高。
Veeco MOCVD部總經理Piero Sferlazzo表示，「TurboDisc E450就具有穩定量産優質ROY LED和多結太陽能電池的生産能力，而現在憑藉下一代E475，Veeco將繼續推動MOCVD技術在量産高亮LED和III-V聚光太陽能電池方面的發展。與E450相比，E475的産能提高了15%，維護成本也得到了改進。」
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