近日，Entegris, Inc.宣佈，為了滿足 LED 製造商提高產量的需求，Entegris 將在2011 SEMICON China 展會上展示其新型 Ultrapak® 150 mm 厚外延片運輸盒及 Aeronex® 氣體純化系統如何通過提高和保持外延片的完整性來幫助製造商提高產量。

Entegris 相關人士介紹，Ultrapak® 150 mm 外延片運輸盒是專為運輸 1.3 mm 厚度的外延片而設計的，可將外延片穩固，限制旋轉，減少微粒污染並防止外延片出現損壞或破裂。通過與主流 LED 製造商緊密協作，Entegris 確定並對其得到廣泛應用的半導體運輸盒進行了重大改進，符合了 LED 行業的獨特需求。

此外，該公司還將展出針對高亮度 LED (HBLED) 製造應用的氣體純化解決方案 Aeronex 系列。這些系統能夠在最大運行時間內提供可靠的氣體純化服務，使製造商能夠生產出具有最高光致發光峰值和發光效率的 HBLED。該種多層設計可持續供應純化氣體，且有多個氮、氫和氨的流量範圍可供選擇。