Soraa公司購置Plasma-Therm系統,用於LED晶圓製程

LED和雷射技術大廠Soraa公司正在開發用於普通照明和投影顯示市場的新類LED和雷射,日前,該公司最近購買了三套Plasma-Therm系統,用以在其晶圓製程中進行電漿沉積和蝕刻步驟。

公司新近購買的三套系統包括790+® RIE、VERSALINE® PECVD和VERSALINE® ICP。透過提供電介質沉積和金屬、電介質以及活性物質的結構排列,它們共同實現了前期關鍵的製程技術、步驟,這對於開發和生產最先進的光子元件相當重要。而且,隨著非工業照明、顯像、生物技術、國防以及其他工業領域的主流應用開始使用LED和雷射,它們的需求也在逐步增加。

該公司銷售與市場行銷執行副總裁Ed Ostan指出:「當工程師將他們的技能和知識應用於不同的半導體應用領域時,他們通常無法將其所擁有的知識和經驗用於操作不同的設備集。應用Plasma-Therm製程系統的積極經驗不僅吸引了更多新的訂單,而且還保持了持續的業務關係。以前使用Plasma-Therm設備所體會到的優越性在這次製造商購買Plasma-Therm設備的決定中發揮重要作用。我們重視建立強有力的業務關係以及我們系統經過驗證的可靠性和支援,這是客戶重複訂購的關鍵因素。」

有關Soraa公司
Soraa由來自於聖巴巴拉市加州大學的先進氮化合物研究員Shuji Nakamura教授、Steve DenBaars教授和Jim Speck教授創立,執行長為Eric Kim,目前,該公司正迅速擴展其美國廠的量產製造能力。

有關Plasma-Therm
Plasma-Therm成立於1974年,是先進的電漿製程設備供應商,提供多種蝕刻和沉積技術。Plasma-Therm系統支援各種專業市場,如固態照明、薄膜磁頭、MEMS、光罩和化合物半導體市場。為滿足全球客戶群的多元化需求,Plasma-Therm在北美、歐洲和亞太設有銷售、服務和備件供應點。

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