日前，諾發公司宣布，現已向旭瑞光電提供了一台VECTOR(R)型等離子增強化學氣相沉積(PECVD)設備，新設備將被安裝在佛山旭瑞光電的生產車間里，用於生產金屬基垂直結構高效LED。
諾發表示，新型VECTOR LED鍍膜系統是LED晶元製造產業中最具生產力的PECVD系統，包括光阻去除、物理氣相沉積、電鍍以及晶片拋光和減薄系統解決方案，與傳統LED鍍膜設備相比，VECTOR系統在行業處於領先地位，因為它擁有寬的工藝窗口和高產能，使LED的每晶片成本得以下降。
此外，VECTOR LED鍍膜系統中有一個多晶片載體裝置，能夠放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，產能巨大，且沉積的各尺寸薄膜質量和均勻性都很好，且VECTOR LED系統是在較低溫度下沉積薄膜，這與傳統LED用PECVD設備相比，生產過程易於控制且高效節能。
旭瑞光電成立於2011年5月23日，是一家位於佛山的合資公司，其股東之一為美國LED晶元製造商旭明公司(SemiLEDs Corporation)，其LED晶元項目是SemiLEDs在中國大陸投資的唯一項目，總投資超過3.5億美元，將專業生產大功率高亮度LED晶元產品。
