AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反應器

AIXTRON SE最新推出世界上最大容量的MOCVD反應器——CRIUS II-L MOCVD反應器,將MOCVD反應器的容量、生產能力和LED生產成本都提升到新的高度,具有生產16x4英寸或69x2英寸晶圓的能力。

AIXTRON公司表示,新的MOCVD反應器是基於經過市場驗證的CRIUS II平台而開發的,可以保證高性能氮化鎵(GaN)LED生產過程的無縫遷移。

營銷副總裁Rainer Beccard表示,降低製造成本是LED產業的一個關鍵問題,尤其在固態照明產品中。與MOCVD相關的製造成本中,反應器的產能仍然是影響製造成本的關鍵因素。

據悉,CRIUS II-L經過生產驗證,確認是目前世界上最大的MOCVD反應器。另外,CRIUS II-L反應器還針對2-8英寸晶圓的生產進行了優化設計,將大大提高生產力。

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