GT Advanced Technologies公布藍寶石材料質量對LED晶圓製程的影響的案例研究

GT Advanced Technologies Inc.(GTAT)日前公布了藍寶石材料質量對LED晶圓製程的影響的案例研究。報告詳述了一項盲型材料研究的發現,這項研究針對藍寶石材料質量對高亮度LED即用型磊晶製程的影響進行了調查。研究顯示,藍寶石材料質量對LED晶圓產量有直接的影響,在接受測試的四家材料供貨商中,GT先進藍寶石熔爐(ASFTM)藍寶石生長材料能夠實現最高的晶圓產量。

藍寶石材料和設備部門副總裁兼總經理Cheryl Diuguid表示:“GT為LED產業提供藍寶石已超過12年時間。我們啟動這項評估項目是為了驗證我們從材料客戶那裡聽到的積極反應意見——ASF藍寶石生長材料擁有卓越質量以及能夠對晶圓產量產生有利影響。晶圓產量對於晶圓製造商而言尤為重要,因為這對他們的經濟產生了直接影響。數據顯示,不同的藍寶石材料來源能夠使晶圓產量產生差異,而GT的ASF材料表現最好。”

這項研究對來自GT ASF和其他三家藍寶石供貨商的25件核心樣品進行了評估。為了獲得公正的數據,GT與一家獨立的領先晶圓製造商進行了合作,提供了盲型、沒有標誌的材料來源。採集的重要晶圓參數(能夠影響產量和成本)數據報括晶圓幾何參數(表面粗糙度、總厚度變動、彎曲度和弧度)以及晶圓報廢率。

GT Advanced Technologies將這項案例研究的報告于9月28日至30日在位於日本舉行的Strategies in Light貿易展出期間的M-78攤位上提供,並且會公布在該公司的網站上,按這裡可直接存取。

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