近日，英國斯特拉思克萊德大學（University of Strathclyde）的研究者宣布開發了一項Micro LED新型轉移製程：連續滾輪轉印技術，可在一次轉印中精準地轉移超75,000顆Micro LED，並針對轉移的數量和良率開發了自動計量系統。

▲ a) 滾輪轉印設備示意圖；b) 轉印製程（左到右），器件從供體釋放到轉移頭，再放置到接收晶片上。

研究人員表示，這項製程可以實現Micro LED的巨量集成，可在一次轉印中轉移一個320x240畫素陣列，相當於75,000顆以上的Micro LED，相對位置精度達亞微米級，而且能夠保持畫素陣列的幾何結構，畫素空間定位誤差與設計布局的偏差控制1μm以內。

另外，研究者還採用了基於簡單光學顯微鏡的自動亞微米級精準計量系統，用於評估如此大規模數量的器件，同時還可以評估良率。

除了Micro LED巨量轉移，該製程還可用於其他類型的設備，包括矽和印刷電子設備，如柔性和可穿戴電子設備、智慧包裝和射頻辨識標籤；同時，該製程在光伏設備製造、藥物輸送系統、生物感測器和組織工程等生物醫學應用中也具有應用潛力。

目前，這篇論文已發表在《光學材料快報》。

（LEDinside Janice編譯）