AIXTRON 愛思強推新一代MOCVD 系統 大幅降低營運成本

全球領先的半導體行業沉積設備提供商德國愛思強股份有限公司,今日在中國國際半導體照明論壇(China SSL)上推出新一代MOCVD 系統。新型的AIX R6 是為氮化鎵基LED 的生產而設,並能提供12x6、31x4、121x2 英寸規格晶圓配置。這個集多項技術創新於一體的新系統將大幅降低運營成本,以及簡化使用者介面和制程式控制制。

 

 

 

我們的新型AIX R6 解決了LED 廠商目前所面臨的最重要挑戰:器件價格不斷下跌的激烈競爭環境,驅動以生產者成本較低的設備製造的需求。AIX R6 的設計是為了滿足客戶對高效生產的要求,助力他們優化生產成本,AIXTRON 愛思強首席執行官兼總裁Martin Goetzeler 表示。「因此,來自三安光電的突破性訂單記錄證明了我們的新型AIX R6 在今天正式推出之前,就已經憑藉其卓越性能和價值定位,成功獲得一名關鍵的市場參與者。」

 

 


AIX R6 的設計基於AIXTRON 愛思強的近耦合噴淋頭(CCS)概念。這項關鍵技術已在多個市場上獲得高度認可,尤其以出色的化學反應效率以及固有的沉積均勻性而著稱。與現時系統相比,AIX R6 能節省超過30%的生產者成本以及增加超過120%的產量,為LED 大規模生產樹立全新標準。

AIXTRON 愛思強首席技術官Andreas Toennis 在強調新型MOCVD 設備的優勢時表示:「AIXR6 的研發重點在於滿足客戶的生產需求。我們著重通過提高生產力、更多的自動化、增強可靠性和延長執行時間來實現產量最大化。此外,通過加強溫度監控和控制系統來改善制程式控制也是AIX R6 的另一個關鍵特點。新型制程式控制制系統消除了溫度變異以提高可重複性和良率,並且能夠縮短生產週期和快速校準。」


 

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