韓國三星SDI公佈氧化物半導體TFT驅動12.1英寸有機EL面板的技術細節

據日經BP社報導,韓國三星SDI開發出了採用氧化物半導體IGZO(In-Ga-Zn-O)材料的TFT12.1英吋有機EL面板,並在「SID 2008」上公佈了技術細節。該面板在玻璃底板上形成了採用氧化物半導體的有源矩陣型TFT陣列和有機EL元件。

此次開發的有機EL面板的圖元為1280×768圖元(WXGA),解析度為123ppi。亮度為300cd/m2,對比度為2萬:1。採用底部發光結構,光從TFT底板側取得。有機EL材料採用的是低分子材料。但紅色用磷光材料,綠色和藍色採用螢光材料。

TFT的掩膜數量為7片。圖元間距為69μm×207μm,圖元電路由2個TFT和1個電容器構成。採用底柵結構,柵極、源極及漏極的電極材料採用Mo,柵極絕緣膜採用SiOx/SiNx,並使用了現有的光刻製造技術。IGZO TFT的遷移率為17.2cm2s,開關比為108以上,亞閾值斜率(S值)為0.28V/decade。

三星SDI指出,採用IGZO的TFT其優勢在於可以著手量產大尺寸玻璃底板。使用此次的TFT製作方法,甚至可以支援第8代底板。

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