德國MOCVD大廠愛思強(Aixtron)昨（26）日宣布， 在台灣領先的科技大學之一，著名的中興大學向其訂購一套3x2英寸晶元規格的近耦合噴淋頭®(CCS) MOCVD系統。
國立中興大學將利用CCS系統進行在硅晶元上異質外延生長氮化鎵（“硅基氮化鎵”）技術的研發。愛思強的一支當地服務支持團隊已在國立中興大學位於台中市的專用潔凈間中，對新反應器進行安裝及調試。國立中興大學材料科學與工程系的武教授評論說：“愛思強的近耦合噴淋頭®系統是研究硅基氮化鎵的完美選擇。這一結論不僅是基於我多年來對這種材料技術難題的研究，而且是全球眾多使用愛思強MOCVD系統的領先研究機構的共識。國立中興大學精密工程研究所的洪教授補充說：“這套反應器具有適應廣泛、操作簡易的特點，且可實現我們所需要的一系列參數的可複製性，將為我們生產高質量的硅基氮化鎵外延片和其他新結構提供一臂之力。”
自2001年以來，由武教授和洪教授共同領導的國立中興大學研發團隊已成功開發多項獨特的氮化鎵和磷化鋁鎵銦LED技術。如今，這個涵蓋外延生長到設備加工與包裝的綜合實驗室已經成為台灣領先的研發中心之一。該團隊的多項產學合作項目成功榮獲台灣行政院國家科學委員會嘉獎。
國立中興大學是台灣中部地區唯一一所提供全面的研究和教育課程的國立大學。該校持續投資建設卓越研究中心，包括生物技術、納米仿生技術和先進的工業精密儀器儀錶技術三個領域，致力在未來五年內躋身世界一流大學之列。
