韓國大邱慶北科學技術院將使用Aixtron系統生產單根納米管陣列

德國愛思強股份有限公司昨(8.9)日宣布,該公司獲得了來自南韓大邱慶北科學技術院(DGIST)的一份訂單。合同簽訂的一套BM II(2英寸)系統將會用於3D設備的碳納米管(CNT)陣列沉積,例如納米天線、納米整流器等。目前系統已由愛思強的當地服務團隊進行安裝和調試。

“我們正在開發的獨特設備,要求對碳納米管沉積位置進行精確控制,實現單根垂直排列。” DGIST信息及通信工程部的Jae Eun Jang教授表示,“而這正是以等離子為基礎的愛思強BM系統比我們所考慮的其它系統更加出色的地方。事實上,BM系統使我們能夠在碳納米管生長過程中,以可重複生產的方式可靠地實現對生長參數和納米管排列的最佳控制。”

雖然碳納米管設備方面的研究在過去十年間取得了長足發展,但在大面積下對納米管數量和位置進行精確控制(這是生產集成電路所必須的技術)僅僅是其中的重大挑戰之一。DGIST採用愛思強的BM系統,正是為了解決這些難題。

“BM系統通過一種和現有硅技術相兼容的工藝,使我們能夠根據所需尺寸準確地控制碳納米管在預定位置的單根垂直生長。單根納米管的垂直走向是一個關鍵要素,能使我們在傳統設備的基礎上大幅縮小設備單元面積。這種垂直納米管不僅可以應用到電子和通信設備領域,並且也被我們應用到納米機電和機器人系統等創新應用範疇。” Jang教授總結道。

Jang教授在韓國首爾的漢陽大學取得工程學學士學位,並於英國劍橋大學獲得博士學位。主要成就包括2010年韓國國際信息顯示設備展覽會(IMID 2010)“傑出論文獎”,以及2009年三星電子“創新發明獎”和2008年“三星最佳論文銀獎”等其它獎項。目前的研究方向包括無線通信系統、3D電子設備、感測器、柔性電子/可穿戴電腦、人機交互設備和光學快門。
 

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