6吋MOCVD需求激增,設備市場主流趨勢已成必然

2013年6吋有機化學氣相沉積(MOCVD)機台量將大幅增長。發光二極體(LED)價格自2011年始走跌,上游LED磊晶廠除藉由縮減資本支出(CAPEX)力挽利潤與營收下滑頹勢外,亦已逐步調高6吋MOCVD機台採用比重,進一步降低製造成本、強化價格競爭力。

Laytec業務總經理Tom Thieme表示,今年上游LED磊晶供應商添購MOCVD機台的數量明顯下滑,且4吋MOCVD機台不再是市場主流,反之6吋MOCVD機台的採購比例明顯攀升,顯見LED磊晶廠已面臨極大的成本壓力,因此加緊購入大尺寸MOCVD機台,以提高毛利率和營收貢獻。

看好6吋MOCVD機台需求看漲,愛思強(Aixtron)、威易科(Veeco)等MOCVD設備商早已展開6吋產品線部署;另一方面,MOCVD光學量測廠商,亦快馬加鞭布局先進的現地量測(In-Situ Metrology)技術,以提高LED磊晶廠的生產良率,達成調降製造成本的目的。

目前Laytec針對6吋MOCVD機台開發的現地量測儀器,讓LED波長的一致性可達±3奈米(nm),該公司計畫至2015年達±1奈米的目標,可望助力LED磊晶廠加快提升良率,以縮減成本。

預估,2013年6吋MOCVD機台的市場滲透率將會急速擴大,對於量測MOCVD反應爐內晶圓溫度的高溫計(Pyrometer)儀器,MOCVD設備廠商已發出安裝到反應爐中的現地量測儀器,可以確保晶圓的平整度(Flatness),以提高良率。

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