伊利諾斯大學引進安裝AIXTRON愛思強系統

研究人員將利用靈活的MOCVD平台研發太陽能納米線

愛思強股份有限公司宣佈已於2013年第二季度向伊利諾斯大學香檳分校交付一台近耦合噴淋頭反應器。該台3x2英吋規格的系統將用於研發以III-V族化合物半導體為基礎的材料和設備,包括基於納米線的太陽能電池和晶體管。AIXTRON愛思強在2012年第四季度收到該訂單。


「我們需要一套能夠為本校多種試驗項目提供支持的靈活的研究平台。我們面臨的關鍵問題是購置成本和工藝靈活性,而這對多用戶環境下的材料研究至關重要,」伊利諾斯大學電子與計算機工程部及微型和納米技術實驗室的Xiuling Li教授表示。

伊利諾斯大學微型和納米技術實驗室擁有總面積超過8,000平方英呎的100級和1000級潔淨室,並於近期斥資1,800萬美元進行擴建,新建了教師及學生辦公室。


 

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