近來Plessey動作連連，日前剛宣佈與衍射光波導元件設計和生產企業WaveOptics合作開發智慧眼鏡用Micro LED模組。昨（6）日，Plessey又宣佈與美國設備廠商Axus Technology (Axus) 達成合作關係，旨在將高性能矽基氮化鎵單片Micro LED技術推向大眾市場。

Axus是半導體應用化學機械拋光（CMP）、晶圓減薄和晶圓拋光表面處理解決方案的全球供應商。

Plessey透過向Axus訂購金屬及氧化物CMP和相關工具，持續大力投資生產設備以提升其專有Micro LED顯示的生產能力，實現Micro LED晶圓與高性能CMOS背板的晶圓級粘合。

（圖片來源：Plessey）

此前，大量Axus的CMP和Scrubber系統已用於實現關鍵的晶圓平面化以及晶圓級黏合的準備。晶圓級黏合帶來了重大的技術挑戰，即使採用合適的設備也需要廣泛的專業知識和精細的技術。2019年，Plessey採用Axus的系統後，成功實現了晶圓級矽基氮化鎵單片1080p 0.7吋8微米像素間距的Micro LED主動顯示器。

此後，Plessey進一步優化，將更小的0.26吋綠色1080p Micro LED顯示器以晶圓對晶圓的方式，和Compound Photonics 設計的3微米背板顯示系統成功貼合，創造了200多萬獨立電子接點。

(圖片來源：Plessey)

Plessey表示，雙方的合作促進了用於不同材料CMP關鍵工藝的發展，這些材料對於實現Plessey的專有單片矽基氮化鎵技術起到關鍵作用。兩家公司的工程師成功在Axus位於亞利桑那的CMP製造廠和Plessey在英國的半導體製造廠實現目標。（編譯：LEDinside Janice）