歐司朗將訂購Veeco MOCVD系統,發力高階LED領域

近日,Veeco宣布歐司朗光電半導體認證通過了其Lumina MOCVD系統,並將採用此系統生產高階LED產品,助力下一代先進光子器件的開發。

(圖片來源:Veeco)

歐司朗光電半導體的首席營運長Lothar Mergili稱,歐司朗的發展核心就是在需要創新和重新定義技術限制的的下一代先進光子技術領域保持領先地位。

Mergili指出,事實證明Lumina MOCVD系統在生產率方面設定了新的標準,可滿足甚至超過市場要求。Veeco的先進MOCVD技術對於歐司朗而言,發揮著重要作用,未來也是如此。

Veeco介紹,新型Lumina系統是基於20多年的大容量MOCVD專業技術開發的,並擁有公司核心TurboDisc技術的可靠性能。為了開發下一代器件,歐司朗等領先企業追求高品質薄膜技術,出色的一致性和可重複性,以及無可比擬的購置成本,而這些Lumina都能夠滿足。

Lumina系統的核心就是Veeco的MOCVD TurboDisc技術,該技術專用於實現高一致性和缺陷最少化,能夠在直徑達8英吋的晶圓上沉積高質量的AsP外延層。

此外,Lumina系統還可用於定制用戶的系統,以在量產IRED(紅外發光二極管)、LED、EEL(邊發射激光器)和VCSEL(垂直腔面發射激光器)等產品的過程中實現價值最大化。(LEDinside Janice編譯)

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