eLux安裝新型巨量轉移工具,降低Micro LED生產成本

4月19日,美國Micro LED巨量轉移關鍵技術廠商eLux宣佈在台灣地區的Micro LED原型工廠安裝了一款新型自動流體組裝工具,可實現對10個15英寸的顯示面板進行全自動卡匣式流體組裝。

新型流體組裝工具能夠最大程度降低Micro LED巨量轉移製程的成本,並且容量可擴展,能夠再添加兩個額外的模組。

自動流體組裝工具

eLux已採用這款新工具生產出一個12.3英寸的Micro LED顯示器,搭載了518400顆GaN Micro LED,10分鐘內完成組裝,換言之,相當於轉移速度為每小時310萬顆Micro LED。

此外,組裝、清潔、重複利用及烘乾等每個環節都經過自動檢測,以優化產量,提高良率。

12.3英寸Micro LED顯示器

eLux表示,該Micro LED顯示器的自然良率達99.987%,518400顆Micro LED中,缺陷的有34顆,其中33顆可通過雷射雷射(Laser)修復。 這意味著eLux的Micro LED生產良率正在接近百萬分之一,也接近商業電視廠商所要求的品質水準。 除此之外,結合檢測和選定等工藝,缺陷率有機會進一步降低。

據介紹,eLux獨有的流體組裝工藝,能夠將Micro LED轉移至目標基板上。 具體而言,是以液體為載體,將Micro LED晶片運送至TFT背板上每個像素當中預留的位置,轉移過程會使用比圖元數量更多的Micro LED,組裝後多餘的Micro LED及流體可反覆回收利用。

經由Micro-PL及製程缺陷光學檢測,僅將Micro LED良品收集至液體中。 與最常見的取放及雷射轉移方案相比,耗材使用較少且成本較低。 在轉移設備上及轉移過程上,eLux流體組裝設備不需要精密的對位控制,因此設備建置成本相對低廉。

據瞭解,eLux成立於2016年,是從美國夏普實驗室分拆出來的初創公司,致力於推動Micro LED生產技術的商用化。 2016年,鴻海集團入主夏普,並在2017年成為Micro LED新創公司eLux的大股東。

2019年,eLux與鴻海集團在Micro LED顯示器研發方面取得了突破。 當時,eLux向LEDinside展示了12英寸全彩化Micro LED顯示器。

這款顯示器採用主動式LTPS背板驅動方案,圖元密度為42 PPI,顯示亮度為1,000 nits以上。 eLux表示,已突破以往單色顯示技術門檻,可實現RGB全彩化顯示,並搭配自家獨特的流體組裝方案,大幅減少製造成本。

業界皆知,巨量轉移技術是Micro LED生產過程中最大的瓶頸問題之一,巨量轉移製程的效率和良率問題對於整個生產環節來說至關重要。

現價段,巨量轉移技術包括流體組裝、靜電吸附+相變化轉移、凡得瓦力轉印、電磁力轉移、頂針對位轉移、鐳射轉移、滾軸轉寫等不同方式,可應對不同的客戶需求。

如eLux所言,流體組裝方式可以解決Micro LED外延片波長不均勻的問題,避免顯示幕出現馬賽克現象,有效提升了Micro LED外延片的利用率,降低製造成本。 因此,在推進Micro LED商業化量產的道路上,流體組裝方式不失為一個較佳的選擇。 當然,其他轉移技術也在不斷改良和突破中,於Micro LED產業而言,都是利好消息。 (文:LEDinside Janice)

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