南韓 NTS 開發 8 英吋 LED 晶圓研磨設備

近日,韓媒報導,南韓半導體晶圓研磨拋光設備廠商NTS,將於5月發布8英吋半導體晶圓研磨設備「Edge Grinder」,該設備可將晶圓的外徑精確加工成任何所需的形狀。此前,NTS已發布了6英吋的晶圓研磨設備。


 

據了解,NTS成立於2002年,是一家南韓設備企業,主要生產LED晶圓研磨拋光設備,NTS計劃成為一家專注於前期與後期處理封裝設備業務的企業。目前,NTS為三星電子、首爾半導體、LG Display、歐司朗、華燦光電等公司提供設備。

據韓媒介紹,NTS將於5月完成新型晶圓研磨設備Edge Grinder的開發。新設備採用金剛石磨砂盤研磨8英吋晶圓的外徑和邊緣,透過新設備的研磨,晶圓可以精確加工成客戶所需的尺寸和形狀。

NTS新研磨設備其中一個重要特點是可將影響晶圓生產過程品質的振動或負載最小化,NTS總經理表示,新研磨設備Edge Grinder使用精密的CCD感測器準確辨識晶圓位置和晶圓形狀,客戶可以工件旋轉定位晶圓,並透過精密旋轉將設備負載降至最低,因此Edge Grinder的生產效率和速度優於其他設備廠家。

另外,NTS總經理透露,目前,NTS正在推動洽談8英吋研磨設備的業務發展,望通過更高的生產力和更低的價格擴大NTS在半導體研磨設備的市占。

據悉,NTS之前已量產了6英吋的研磨設備Edge Grinder,目前6英吋研磨設備已向中國半導體晶圓公司中華半導體供應。韓媒透露,近期NTS 6英吋設備訂單量增加,今年上半年NTS將向晶圓製造商供應約30台設備,預計銷售額將達到70~80億韓圜。

(LEDinside Irving編譯;首圖來源:pixabay

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