2021年3月以來，國家新型顯示技術創新中心在創新平台建設與營運、戰略研究與規劃部署、新型顯示材料與製造裝備國產化、知識產權與標準、產業生態圈建設等方面取得明顯成效。

該中心重點突破材料、器件、面板製程和裝備技術瓶頸，解決新型顯示產業鏈的關鍵材料與核心裝備環節短板，構建自主可控、安全可靠的新型顯示產業鏈供應鏈，積極打造世界級新型顯示產業生態圈。

近日，國家新型顯示技術創新中心又有兩項科研取得新進展，分別是Micro LED創新平台在超高密度Micro LED鍵合凸點的規模化製備，以及視覺健康與感知創新平台在偏振體全息（PVG）光波導AR顯示技術。

Micro LED創新平台在超高密度Micro LED鍵合凸點的規模化製備

近日，國家新型顯示技術創新中心Micro LED創新平台牽頭單位福州大學郭太良教授團隊嚴群和孫捷課題組在超高密度微米級LED（Micro LED）鍵合凸點的規模化製備方面取得重要進展，並在著名期刊《美國化學學會應用電子材料》（ACS Applied Electronic Materials）上發表研究論文。

▲ 超高密度Micro LED鍵合凸點圖示。
 

課題組認為，化學鍍成本低且不會受真空鍍膜技術中金屬剝離光刻諸多製成重複性不利因素的影響，是在超高密度Micro LED領域非常具有前景的凸點製備技術。同時因化學鍍不涉及電學控制，其製備凸點比電鍍更為均勻。

該研究報告了透過化學鍍（ENIG）製備超小間距Ni/Au凸點的全製程流程，凸點高度達4微米，週期僅有8微米，重複性良好。研究還表明，廉價金屬鐵和鎳可用來催化化學鍍鎳製程的反應。

結果顯示，晶圓上凸點均勻一致且內部沒有發現空隙或雜質，有利於接下來的鍵合互連過程，為超高密度Micro-LED顯示晶片與其主動驅動晶片的集成，實現電學和機械的互連提供了一條低成本、高重複性的路徑，對產業化非常有價值，下一步擬實用於樣機製備中。

視覺健康與感知創新平台在偏振體全息（PVG）光波導AR顯示技術

近日，國家新型顯示技術創新中心視覺健康與感知創新平台牽頭單位東南大學張宇寧教授研究團隊在美國光學學會主辦的傳統期刊《光學快報》（Optics Express）發表論文，提出了一種基於新型偏振體全息（PVG）波導的二維擴瞳設計與製備方法。

根據所提出的技術方案，研究團隊搭建了基於微米級LED（Micro LED）像源的原理樣機系統。得益於PVG波導技術自身優異的衍射性能和優化設計，該波導技術方案在實現近20倍光瞳放大率的同時，光學效率高達3.8%，而背面漏光率僅為8.7%，有效突破了現有衍射光波導技術中普遍存在的效率低、漏光嚴重瓶頸問題，為AR衍射光波導技術的進一步應用與發展提供了有力支撐。

偏振體全息（PVG）光波導技術是東南大學顯示技術研究中心張宇寧教授團隊提出的一種新型衍射波導AR顯示技術。該技術在保留體全息波導技術高效率、低成本優勢的同時，突破了原有體全息波導在視場範圍（FOV）、彩色顯示等方面的限制。

▲ PVG波導彩色成像實拍圖。
 

對比現有衍射波導方案，PVG光波導技術在顯示性能、功耗、重量體積、製備成本方面都體現出其獨有的潛力與優勢。

（來源：粵港澳大灣區國家技術創新中心、LEDinside整理）