VEECO 推出新機型K465i 可達成最低的設備維護運轉成本

Veeco推出TurboDisc K465i ,一款用於生產高亮度LED(HB LED)的氮化鎵 (GaN) 金屬有機化學氣相沉澱(MOCVD)設備,日前經過LED產業內的Veeco 用戶試用後, K465i 很快獲得量產認可,該公司已經接到了亞太區域多個 LED 用戶的訂單。

Veeco指出,這次的新產品 TurboDisc K465i 以 Veeco 久經考驗的 K 家族平台為基礎,結合業界最高生產效率,在 5nm bin誤差範圍內,同級最優LED的良品率接近90% ,大幅提高中bin率。TurboDisc K465i 採用完全自動化運作,例行維護後在很短的時間內即可繼續生產動作,增加生產效率。在同類產品競爭中,不僅生產效率最高,還能節約大量成本。

TurboDisc K465i 設計:均勻性和可重複性

TurboDisc K465i GaN MOCVD 系統裝置的核心,是Veeco正在申請專利的Uniform FlowFlange 技術。它的設計是用來產生能均勻地流過LED晶圓的烷基和氫化物氣體的均勻氣流型態,該設備打造出來的LED晶粒可獲得卓越的均勻性和可重複性,K465 i也採用了 Veeco 最先進的反應爐技術。FlowFlange 的簡化設計提供了快速製程優化的輕鬆除錯功能,適用晶圓大小達 8 英吋,同時該設備維護後的快速復產能力也保證了 LED產業界最高的生產效率。

歡迎並進一步了解LED晶粒量產資訊與 K465i的詳情,請瀏覽www.veeco.com/mocvd

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