近來全球LED產能進入快速擴張期，是著眼于LED背光、LED照明市場的蓬勃發展，因應而生的LED上下游產能大擴充風潮。在這當中，LED藍寶石基板相關產業，是LED磊晶產業最相關的上游產業，藍寶石基板是LED磊晶的最重要材料之一，相關設備廠商的發展與動向，也很受到市場的矚目與關注。LEDinside日前訪問了美國GT Advanced Technologies Inc.(極特先進，該公司前身是GT Solar)的副總裁兼藍寶石設備和原料業務部總經理Cheryl Diuguid女士，由她來分享LED藍寶石材料與設備市場方面的訊息與經驗談。

GT Advanced Technologies Inc.副總裁兼藍寶石設備和原料業務部總經理Cheryl Diuguid女士

雙重角色提供LED藍寶石市場動能

Cheryl Diuguid先前在化學、科技產業有豐富的經驗，目前是負責GT Advanced Technologies的藍寶石材料與藍寶石設備，重心是放在亞洲市場的發展。針對該公司切入藍寶石設備市場，她強調，GT Advanced Technologies收購了在藍寶石材料與設備領域擁有相當技術的廠商Crystal Systems,Inc.，加上合併入GTAT的時間，可說已經為LED產業提供藍寶石超過40年的時間，有相當豐富的經驗。不但有藍寶石材料的供應，也提供藍寶石熔爐，身兼材料與設備商的雙重角色。

藍寶石材料

Advanced Sapphire Furnace 先進藍寶石熔爐

GT Advanced Technologies目前的藍寶石生產設備，產品定位在中高規模的廠商，不但如此，該公司在美國的麻塞諸塞州賽勒姆（Salem）設廠，可說是快速提升產能與提升品質的良好案例，從2010年秋季進行的擴廠計劃，可提高該廠產能為原本的3倍，總計成本為2700萬美元，主要是提供給業界高品質的藍寶石材料，讓藍寶石結晶以大量且合理的價位供應到市場上。

嚴謹量測標準與兼顧產能品質

品質方面，她也提出掛保證的數據來證明，前陣子，GT Advanced Technologies公布了由第三方機構發表的關於LED藍寶石基板案例研究，這篇名為“產量問題：藍寶石材料品質對LED晶圓製程的影響”報告，顯示出藍寶石材料品質，確實對LED晶圓產量有直接的影響。由於屬於一項盲型測試，可性度非常高，包括晶圓幾何參數（表面粗糙度、總厚度變動、彎曲度和弧度）以及晶圓報廢率都是被評估的指標。

該項報告指出，GT使用的ASF方法，比競爭對手的KY法、HEM法，在平均RA、平均TTV、平均Warp、平均Bow，都有更好的成績，該公司可說是用實際產出的例子，來證明其材料與設備品質相對較好的現況。以ASF法的藍寶石生產技術來看，晶圓損失率約在2.4％，優於競爭對手的6％與6.9％。

另外，Cheryl Diuguid也舉了相當重要的例子，以新的藍寶石設備為例，ASF 100比ASF 85提升更多的產能，同時在藍寶石的純度、產量、品質都有提升，她以先前購買過該公司ASF系列的廠商為例，都滿足於能夠升級、擴充產能的的設計，使得他們具備調配產能的彈性化。搭配新的OHT檢驗技術，可以解決包括氣泡，孿晶、低角度晶界等問題。

LED用藍寶石價格下滑將擴大LED應用滲透率

Cheryl Diuguid預言在未來2012年，LED用的藍寶石價格會繼續下降，市場上的廠商將可以獲得更低成本的材料、基板，這對於LED照明市場的擴大與LED滲透率將有一定程度的幫助。

她也強調，該公司販售的藍寶石基板設計，主要是朝向量大的客戶，這樣會具備更好的經濟規模。該公司也在亞洲布署足夠的技術支援團隊來因應廠商的需求，並且有訓練中心，完成亞洲各地廠商的設備操作訓練，以及製程精進量化相關的工作。

Cheryl Diuguid女士也在LEDforum 2011 Taipei演講，分享其在藍寶石設備市場的寶貴經驗。

延伸閱讀：GT AT的藍寶石設備介紹影片