LED知識之光阻劑

光阻,亦稱為光阻劑,是一個用在許多工業制程上的光敏材料。像是光刻技術,可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。

光阻有兩種,正向光阻(positive photoresist)和負向光阻(negative photoresist)
正向光阻是光阻的一種,其照到光的部分會溶於光阻顯影液,而沒有照到光的部份不會溶於光阻顯影液。

負向光阻是光阻的一種,其照到光的部分不會溶於光阻顯影液,而沒有照到光的部份會溶於光阻顯影液。

正型光阻劑及負型光阻劑主要是應用在LED晶粒製造的金屬電極蒸鍍Lift-off制程中,由於LED電極所使用的金屬材料不易經由蝕刻的方式製作電路圖形,所以利用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻圖形,使金屬在蒸鍍過程中不會連續性滿布在光阻劑上,再用去光阻劑的方式將未遭金屬布蓋的光阻部份拔起,完成金屬電極的圖案。

半導體制程常用的正型光阻劑,在光學曝光方式下,光阻劑上層接受能量較下層光阻高,使得正型光阻劑成像大部份圖形為上窄下寬,無法經一次曝光方式即得到Overhang的圖形,而負型光阻劑的成像恰好與正型光阻劑圖像相反,所以負型光阻劑是lift-off制程的最佳選擇。

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