ITO晶片在LED中的應用

為了提高LED晶片的出光效率,人們想了許多辦法。比如,當前市場上出現了許多亮度較高的ITO晶片的LED,GaN基白光LED中如果用ITO替代Ni/Au作為P型電極晶片的亮度要比採用通用電極的晶片高20%-30%。
ITO是英文Indium Tin Oxides的縮寫,意思是「氧化銦錫」。與其他透明的半導體導電薄膜相比,ITO具有良好的化學穩定性和熱穩定性。對襯底具有良好的附著性和圖形加工特性。

ITO為一種N型氧化物半導體,作為納米銦錫金屬氧化物,具有很好的導電性和透明性,可以切斷對人體有害的電子輻射,紫外線及遠紅外線。因此,噴塗在玻璃,塑膠及電子顯示幕上後,在增強導電性和透明性的同時切斷對人體有害的電子輻射及紫外、紅外。ITO透明導電膜是平面顯示器上重要之組件,其特性會與鍍膜製程中的參數及材料有密切的關係。

在眾多可作為透明電極的材料中,ITO(Indium Tin Oxide)是被最廣泛應用的一種,ITO薄膜即銦錫氧化物半導體透明導電膜,通常有兩個性能指標:電阻率和透光率。主要是由於ITO可同時具有低電阻率及高光穿透率的特性,符合了導電性及透光性良好的要求。在氧化物導電膜中,以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過率最高和導電性能最好,而且容易在酸液中蝕刻出細微的圖形。

我們如果來看其穿透率,其透過率已達90%以上,ITO的透過率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例來控制,通常比例是為Sn2O3:In2O3=1:9。

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