中國大陸中山大學購入Thomas Swan CCS MOCVD,用於GaN LED研究

早在2007年第1季,中國廣東的中山大學向Thomas Swan訂購了一台Thomas Swan Close Coupled Showerhead (CCS) MOCVD反應腔。該MOCVD反應腔將被用於一項關於高亮GaN基LED的研究計劃中。

中山大學選擇了3x2英吋的緊配合噴淋頭反應器,用於在藍寶石及SiC襯底上生長GaN材料。該設備將安置在位於中國廣州的中山大學光電研究實驗室的無塵室裡。

王鋼是中山大學光電材料與技術國家重點實驗室的一位教授,他表示,「Thomas Swan CCS tool提供了最佳的GaN外延技術,也將滿足我們開發nitride-on-silicon異質磊晶的需要,作為下一代更低成本材料,應用於顯示器背光源。」

王鋼教授進一步表示,「我們已與AIXTRON建立了友好關係,希望得到AIXTRON更進一步的本地支持與服務。我們對工藝靈活性、厚度一致性、 摻雜及組成成分等有嚴格的規定,而Close Coupled Showerhead(CCS)系統正好能滿足我們的要求,且具有高穩定性,性能比其它垂直式生長腔優越得多。所以,我們決定在該平臺上進行高亮GaN LED的研發工作。」

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