日前，東芝開發出11.7英寸的柔性OLED面板，並在美國波士頓舉行的“SID 2012”上發表了相關論文(論文序號：74.2L)。在開發人員見面會上，除公開了該面板工作演示的影像外，東芝還展示了在薄膜上形成的驅動元件(TFT)。
此次開發產品的像素為960×540，清晰度為94ppi，通過氧化物半導體非晶IGZO TFT進行驅動。組合使用白色OLED材料與RGB三色彩色濾光片(CF)實現彩色顯示。OLED元件的構造為從TFT基板提取光的底部發光型。面板的開口率為42%。
製作流程為在玻璃基板上塗覆厚度為10μm左右的聚酰亞胺(PI)后，通過真空成膜與光刻技術形成非晶IGZO TFT;然後在TFT陣列上形成彩色濾光片與白色OLED;最後，剝離玻璃基板製成柔性面板。東芝表示，“可最輕鬆地實現量產和大屏幕化”。
非晶IGZO TFT是在半導體層上部設置蝕刻阻擋層的底柵型。為提高可靠性，在蝕刻阻擋層與源漏電極形成后，追加了300℃以下的退火處理。載流子遷移率為17.3cm2/Vs，閾值電壓為0.86V，亞閾值擺幅(Subthreshold Swing)為0.21V/dec。
此外，東芝還推出了將此次開發產品與感測器組合使用，通過彎曲顯示部分進行操作的直觀用戶界面(UI)。由此，該柔性面板不僅具有重量輕、可彎曲的特性，“還可提供新的附加值”(該公司)。演示中展示了通過稍微彎曲面板來放大或縮小地圖應用的實際情景。
