美國澤塔儀器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC.)今天宣布美國盧比肯技術公司（納斯達克股票代碼：RBCN）已訂購多台Zeta-300™ 系列光學輪廓儀用來監控其藍寶石襯底生產線。盧比肯藍寶石襯底的用途之一是被用作生產高亮度發光二極體（HBLED）的基片。

作為發光二極體、半導體以及光學工業所需的藍寶石襯底的主要供應商，盧比肯的產品質量在業界被視為黃金標準。藍寶石基片上的缺陷可能導致後續發光二極體晶圓的報廢，從而對晶圓廠商生產成本造成很不利的影響。基於對此的充分認識，盧比肯購買了多台Zeta-300™ 系列光學輪廓儀用來檢測藍寶石基片上可能出現的缺陷，以及精確測量圖案化藍寶石基片上PSS的幾何尺寸，以此來幫助發光二極體晶圓廠商提高成品率、降低生產成本。
 
以最優性價比享譽業界的澤塔儀器操作簡易、測量精度高，已經被眾多與發光二極體生產有關的企業所採用。作為澤塔最新的光學廓線儀，Zeta-300™ 系列是專門針對圖案化藍寶石基片（PSS）極其嚴格的測量要求而設計的。它不但可以精密測量PSS的幾何尺寸，而且可以檢測PSS樣品上存在的缺陷。這種合二為一的獨特設計和功能在PSS測量領域屬於首創。
 
“根據生產線的要求，我們對多家廠商的測量儀器進行了評估。我們得出的結論是Zeta-300™ 系列所提供的測量速度和準確性均優於其它同類產品，” 盧比肯技術公司的總裁Raja M. Parvez先生說道：“使用澤塔的儀器可以確保我們的產品能夠滿足並超越我們自己內部的和我們客戶要求的質量標準。”

利用澤塔的Z-點陣™ 專利技術，Zeta-300系列能夠對刻蝕的PSS、顯形光阻（PR）以及透明的多層結構進行量測，其測量結果準確度高、重複性好。澤塔的儀器在業界被公認為具有最佳的光學硬體和電腦軟體演算法組合，可以快速可靠地對數據進行採集和分析。與同類產品相比，澤塔的儀器在對發光二極體產業中的PSS做量測時，所提供的數據準確性最高、再現性最好。

Zeta-380配備有晶圓自動裝卸機械手和特定的應用程序軟體，它所提供的成像和測量功能優於激光共聚焦顯微鏡。客戶用Zeta-380可檢測到的一些關鍵缺陷在其它同類檢測儀器上可能不會被發現。直觀和創新的系統設計既簡化了澤塔儀器的操作和使用，又降低了系統的總體擁有成本。

澤塔儀器公司總裁Rusmin Kudinar先生說，“Zeta-300系列產品能夠被世界上最大和最受人推崇的PSS晶圓供應商之一所選中，並被其作為生產過程中的一個組成部分，這是對我們的產品戰略和研發成果的充分肯定。我們期待著跟盧比肯這樣一個值得信賴的夥伴進行持續的合作，使其在不斷推進藍寶石襯底生產技術的征途上闊步前進。”