Transphorm選用AIXTRON愛思強AIX G5+ 200mm晶圓矽基氮化鎵系統

愛思強股份有限公司宣布,美國公司Transphorm Inc.向其訂購每批可處理五片直徑為200mm (5x8英寸)晶圓的AIXTRON愛思強G5+ MOCVD系統,用以提升其矽基氮化鎵的產能。 AIXTRON愛思強是在2012年第四季度接獲訂單,將於2013年第二季度交付系統。


Transphorm總裁Primit Parikh表示:「此次訂單將不僅提高我們的產能, 這套新系統也將使我們實現從直徑150mm晶圓向200mm晶圓的過渡,為我們帶來規模效益。 我們希望能以較低的總擁有成本實現更大尺寸的晶圓生產工藝,從而將這次技術升級應用到更廣泛的領域。」

AIXTRON愛思強副總裁兼功率器件項目經理Frank Wischmeyer博士表示:「在研發AIXTRON G5+系統時,我們正是考慮到像Transphorm這樣的客戶的需求。 矽基氮化鎵發展勢頭迅猛,業界期望能在未來短期內將這項技術商品化。 以最低的總擁有成本實現最高的性能,是其成功的關鍵。 我們的G5+系統每批次可生產多片大直徑的晶圓,並擁有冠絕業界的工藝穩定性和均勻性。」

Transphorm於2010年首次訂購AIXTRON愛思強系統,是一套6x150mm晶圓規格的AIX 2800G4 HT系統。 Parikh補充說:「鑒於我們現有系統的出色表現,我們有信心將能快速順利地過渡到更大直徑的晶圓生產。」

AIX G5+是基於歷經驗證的AIX G5 HT 反應器平台。 其卓越的穩定性和均勻性表現,提供了較市面上任何其他MOCVD系統更高的設備良率。

Transphorm致力於重新定義功率轉換,以相宜的系統成本提供易於嵌入的功率轉換設備和模塊,從而將成本高昂的能量損耗降低50%以上。 Transphorm基於氮化鎵的解決方案可簡化多種電子系統和設備的設計和生產,包括電源供應器、太陽能逆變器/功率調節器、電機驅動器和電動車等。
 

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