日商Air Water量產全球最大尺寸SiC基板

日商Air Water Inc.20日發佈新聞稿宣佈,已成功研發出可生產全球最大尺寸的「碳化矽(SiC)」基板量產技術,藉由該技術所生產的SiC基板尺寸可達8吋(現行主流為4吋)。

Air Water表示,已投下約20億日圓於安曇野工廠內整備出月產2,000片的量產體制。據日經指出,Air Water該8吋SiC基板已進行樣品出貨,Air Water並計劃於2016年以後將SiC基板事業營收擴增至數百億日圓的規模。

Air Water表示,SiC基板可充做電源控制晶片、LED的底層基版,而該公司上述量產技術可同時滿足「大面積」、「高品質結晶」及「低成本」等要求,故可望對電源控制晶片、LED的加快普及帶來貢獻。

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