中晟光電設備（上海）有限公司的首台大規模生產型LED MOCVD設備ProMaxy®已於2013年6月在江蘇漢萊科技有限公司順利通過生產評估驗收。

中晟於2012年12月12日成功發運了首台大型國產MOCVD設備給漢萊科技有限公司。經過2個月的實際工作時間，中晟先後完成了設備安裝、硬件測試和外延工藝達標驗收；漢萊科技有限公司在設備交付後的3個月內，按大規模外延生產的要求，首先對中晟設備進行了各項設備性能和外延工藝的測試和驗證；然後根據中晟設備的特點，調試和優化了漢萊自己的外延工藝和LED性能。在此基礎上，漢萊科技有限公司對中晟設備又進行了外延量產的可靠性、穩定性、和重複性等各方面的評估。在關鍵的性能指標中，驗收報告顯示中晟ProMaxy® 單腔產能2英吋66片，兩腔系統產能132片，四腔系統即可達264片；藍光片內波長均勻性<1.5nm，爐內片間均勻性<2.5nm，爐間波長重複均勻性<2nm；非摻氮化鎵的遷移率607cm²/Vs。

通過以上綜合驗證與評估，基於各項性能均達到或超過驗證與評估的指標，例如，單片外延生產成本和提高光效（155lm/W，1023規格的藍光芯片），漢萊科技有限公司於2013年6月18日簽署了最終驗收報告，確認評估合格並驗收通過。

中晟首台MOCVD設備ProMaxy®通過客戶和市場的驗證標誌著在實現中國大型MOCVD設備國產化戰略目標的征途上，中晟又邁出了具有里程碑意義的一步。