據報導，中國半導體設備廠商中晟光電設備（上海）股份有限公司（以下簡稱「中晟光電」）已針對深紫外LED應用推出了新的MOCVD技術和機型，進一步降低設備成本、提高產能。

資料顯示，中晟光電成立於2011年5月，總部位於上海浦東張江高科技園區，專注於研發和生產用於製造LED、第二/三代半導體元器件的MOCVD設備，是中國少數擁有自主核心技術的MOCVD製造企業之一。而且，據人民網報導，中晟光電曾與中微公司一同在LED照明領域打破了德國愛思強和美國Veeco對中國市場的長期壟斷。

2016-2017年，中晟光電與中國深紫外LED領先廠商傑生半導體共同開發和產業化中國首台深紫外MOCVD設備──ProMaxy UV，該設備已成為2020年以來深紫外LED技術研發和產能擴充的主要機型之一。近日，半導體產業網消息稱，中晟光電深紫外MOCVD設備取得新的突破。

（Source：中晟光電）

據悉，隨著深紫外LED應用的不斷拓展和推廣，市場對深紫外LED產品的功率轉換效率、良率及生產成本等提出更高的要求。從外延環節來看，針對深紫外LED外延生長AlN（鋁氮）的材料晶體質量、表面形貌特徵及裂紋控制等都對提高功率轉換效率和良率有著重大的影響，而MOCVD設備做為外延技術的核心設備，也需要透過不斷升級來滿足更高的要求。

為此，中晟光電在ProMaxy UV自主創新的核心技術基礎上，進一步創新和優化了反應腔的溫場控制、反應氣體的傳輸及均勻分布等技術，建立既可外延生產高質量的AlN基板，又能擴大產能（至少15×2）、降低生產成本的新型MOCVD核心技術。

同時，為進一步降低設備成本和提高產能，中晟光電於還推出了可配置4個反應腔的ProMaxy UV的機型。該機型既可每腔獨立外延生產深紫外LED全結構，也能分腔集成外延生產AlN基板和LED結構。

目前，傑生半導體已擁有4台中晟光電的深紫外MOCVD設備，用於大規模生產外延產品，應對醫療殺菌消毒、白色家電、水淨化等深紫外LED應用的需求。傑生半導體表示，採用中晟光電新的MOCVD技術和多腔配置的機型，可獲得滿足大規模生產所需的高質量AlN基板，同時還顯著提高了產能，降低了外延生產成本。

據悉，除了傑生半導體之外，中國還有多家客戶已採用中晟光電新的MOCVD技術，獲得了高品質、低成本的AlN基板，具體優勢如：表面特徵Rq<0.5nm，邊緣裂紋控制在<2mm。中晟光電表示，未來將透過持續的創新推出新的解決方案，以滿足深紫外LED技術發展和大規模生產不斷增長的需求。

另值得關注的是，中晟光電近幾年來逐漸擴大對第三代半導體MOCVD設備領域的投資力度。2020年，中晟光電的第三代半導體GaN分立器件用ProMaxy PD設備就已進入市場評估驗證階段。同年8月，中晟光電獲得由上海浦東科創集團有限公司領投的1.13億人民幣資金，用於研發和生產第二/三代半導體分立器件高階設備。

無論是深紫外LED應用，還是第三代半導體應用，中晟光電已獲得了資本市場和應用端的認可與支持，今後可望基於自主核心技術的MOCVD設備體系，通過創新研發實力的增強以及融資能力的提高，助推MOCVD設備的國產化替代。

（LEDinside Janice整理）