10月26日，美國奈米技術公司NS Nanotech的加拿大分部宣布，公司獲得加拿大自然科學和工程研究委員會（NSERC）頒發的為期兩年的聯盟資助，將用於奈米級發光二極管（nano LED）和雷射的研發。

NS Nanotech與nano LED領域專家趙松瑞（Songrui Zhao）教授共同申請了本次資助，包括了總計100萬加元（約532萬人民幣）的資金和實物捐贈。

資料顯示，NS Nanotech總部位於美國密西根州安娜堡，該公司基於麥吉爾大學和密西根大學獨家許可的專利組合，引入了在單一基板上，自下而上直接生長亞微米級紅光、綠光、藍光和UVC nano LED的新技術方法。相較尺寸通常在100微米以下Micro LED，NS Nanotech開發的nano LED尺寸小於1微米。

▲ 亞微米級nano LED技術。（Source：NS Nanotech，下同）

今年的3月，NS Nanotech宣布在加拿大蒙特婁建立新的研發中心，該部門目標透過密西根大學和麥吉爾大學的相關專利，開發全球首個高效能亞微米等級nano LED和奈米雷射。將下一代nano LED技術應用到電視、手機、智慧手錶、AR眼鏡等電子產品當中。

此後，NS Nanotech的聯合研究團隊成功實現在半導體晶圓上製造奈米線（nanowires），展示了標準工業製造方法生產nano LED的能力。這也是首次利用深紫外線（DUV）光刻製程在光學圖案基板上生長均勻的GaN奈米線。

▲ 在4吋晶圓使用DUV技術實現GaN奈米線生長。

目前，NS Nanotech已開發出亞微米等級的nano LED樣品。今年5月，NS Nanotech宣布，由公司聯合創始人Zetian Mi教授指導的密西根大學實驗團隊製造了首款外量子效率（EQE）達到8%的紅光nano LED，可滿足商業應用需求。在綠光nano LED方面，公司相關研發團隊成功打造了EQE大於25%的綠光nano LED產品。

對於本次資助，NS Nanotech表示，加拿大政府的資助將推動公司開發世界首個高效能亞微米級nano LED產品，這將改變全球顯示器市場的發展格局。

趙松瑞教授則表示，其研發團隊正與NS Nanotech 研發中心合作開發一種全新技術，透過在半導體材料上生長奈米結構，來製造LED。本次資助將有助於該研究在未來兩年內實現更多的突破。

（LEDinside Irving編譯）