Micro LED 顯示器的基礎 - 磊晶及晶片

LEDinside最新的《LEDinside 2019 Micro LED次世代顯示器關鍵報告》指出,Micro LED 技術不只亮度與對比效果超越 OLED,也同時具備反應迅速、低功耗與高可靠度特性,為行動與汽車應用帶來新的可能。

然而,由於生產製程複雜,Micro LED顯示螢幕的良率始終難以提昇,且生產成本也仍高居不下,減緩了商業化的腳步。而其中一個挑戰,便是Micro LED 晶片的品質。如果Micro LED晶片的品質夠好,便能提升整體良率,也降低後續分選及檢測修復階段所需的時間成本。

Micro LED是微小化的 LED 晶片,因此對於磊晶晶圓在波長一致性與低瑕疵率的要求非常高。為達成Micro LED的需求,MOCVD 技術供應商便成為Micro LED晶圓階段的重要角色。

MOCVD技術設備廠商與晶片廠合力發展 Micro LED 晶片

MOCVD 技術供應商AIXTRON與Veeco持續提升自家技術,以符合Micro LED技術的需求。AIXTRON表示,他們能夠在6吋晶圓片上,將瑕疵率降到每平方公分低於0.15。而在波長一致性方面,與傳統LED所需的8-10 nm要求相比,Veeco的技術可以達成3-5nm的一致性。

這兩家設備廠商也分別與LED晶片廠商密切合作,結合晶片廠商的技術,共同提升 Micro LED 晶片的效率與品質,加速生產放量。Veeco與德國Micro LED技術廠商ALLOS合作,已可穩定產出200 nm 氮化鎵矽晶圓磊晶片。Veeco也與法國的Aledia合力研發應用於顯示器的3D Micro LED。

此外,AIXTRON也分別提供MOCVD設備給台灣錼創及英國廠商Plessey生產 Micro LED晶片。AIXTRON在今年一月宣布與台灣錼創簽訂Micro LED的生產合作協議。而錼創則提供Micro LED晶片給三星與天馬的Micro LED顯示器。


(AIXTRON的MOCVD設備)

Plessey則採用AIXTRON的MOCVD技術生產用於Micro LED的氮化鎵矽晶,也在今年的Display Week上展出應用於 AR設備的 Micro LED 顯示器。

今年度由集邦科技旗下LEDinside舉辦的Micro LEDforum,特地邀請到Plessey的技術長Dr. Keith Strickland來分享他們當前最新的技術發展,基於氮化鎵矽晶的單片Micro LED技術在AR及VR穿戴設備上的應用潛能。千萬別錯過這千載難逢的機會,把握早鳥優惠價,現在就註冊!


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