Micro LED晶片的尺寸在50μm以下，相比傳統LED和Mini LED，每一片晶圓上的晶片數量會呈幾何級數增加達到數百萬顆，甚至千萬顆以上。

如何針對Micro LED晶圓級製程生產環節中的全檢，以降低後續巨量轉移、修復的成本、提升晶片良率，成為產業亟待解決的瓶頸環節。

近日，壹倍科技發布Micro LED晶圓級巨量檢測系統α-INSPEC M1000e，該系統可以用於Micro LED晶圓級製程中的發光性能全檢。

據介紹，這是繼日本、南韓等幾家國外公司推出該類型設備後，國內首套自主研發並突破Micro LED晶片巨量檢測技術的系統。


 

該系統通過完全自主研發的光學技術，實現非接觸式、無損、超快速的檢測與分析，能夠量測晶片的發光波長、半高寬以及發光強度等詳細參數，實現對失效、異常晶片的高效精準檢出，具有檢測速度快的優點。此外驗證表明，檢測結果具有穩定性和重複性。

目前，該系統已與國內多家LED領域頭部企業達成合作意向。據悉，國際上已有日韓等少數廠商於近年發布商業化的Micro LED晶圓級檢測設備，從規格參數對比效果上，α-INSPEC M1000e綜合性能水平優於海外設備。

壹倍科技表示，近年來國家以及地方陸續出台了多項政策予以支持，在此背景下，公司此次率先推出該系統無疑將加速我國新型顯示裝備國產化的步伐，有助於打破關鍵裝備由國外巨頭壟斷的局面。

資料顯示， 壹倍科技是一家專注於第三代半導體晶圓級檢測設備的供應商，公司由多位來自香港中文大學的博士創立，具備物理、材料、光學和自動化等專業研發背景和豐富的半導體設備產業化經驗。

該團隊致力於以非接觸式的光學手段提高第三代半導體襯底、外延及晶片的良率控制水平，併計劃陸續推出在Mini LED和SiC領域的非接觸式檢測設備。

（來源：壹倍科技）