SEMICON Taiwan 2018於台北南港展覽館舉行，可見到主要設備廠商，如Aixtron、VEECO、Kulicke & Soffa Pte Ltd、旺矽、Toray皆有參展，提供功率元件與光電產業先進市場方向。

主題一: GaN Power 功率元件與5G RF Front End 功率放大器
針對於5G 時代來臨，營運商與設備商加緊腳步對於5G 市場進行建設布局，加上電動車市場需求， RF Front- End 功率放大器與GaN Power 功率元件將成為下一明日之星。Aixtron 與 VEECO 相繼推出其對應機台，分別為AIX G5+C 與Propel emPower GaN MOCVD，產品可以處理6吋與8吋晶圓片，具有高度均勻性、產能與裝置效能。

主題二: VCSEL 3D 感測與光達系統
VCSEL 未來5-10年市場應用成長動能將著眼與3D 感測與光達系統。3D 感測應用於手機之中，除了可達到解鎖、行動支付、結合APP軟體開發，未來將有更多想像空間；光達可應用於車用感測、智能交通監控、測量、工業應用、無人機與掃地機器人等等應用市場。Aixtron 推出AIX G4-TM MOCVD 已大量用於眾多客戶量產線上；而VEECO 現階段推出TurboDisc K475i™ As/P MOCVD，大幅增加紅外線市場應用。

主題三: Micro LED / Mini LED 市場
Micro LED 涵蓋六大關鍵技術，包含磊晶與晶片設計、全彩化方案、檢測、轉移、修復、驅動與背板等。其中以磊晶與晶片設計是所有技術最為關鍵之處。LED 晶片廠商若能提供絕佳的晶片品質，將能大幅減少檢測與修復上的成本。業界標準下，Micro LED 晶片波長均一性須達到2nm。對應到市場需求上Aixtron 推出 AIX G5+C 全自動化磊晶設備提供最佳性價比；VEECO 則推出兩款機台，分別為Propel enLight GaN MOCVD System系統與EPIK 868 提供更好的營運成本 (Cost of Ownership) ，因應市場需求。

Kulicke & Soffa與Rohinni 合作共同開發PIXALUX™固晶機台，因應Mini LED市場需求。相較於展場其他LED固晶設備，PIXALUX™以Mini LED (100微米x100微米的大小) 其產出速度高達每小時18萬顆，放置精準度高達±10µm。未來，Kulicke & Soffa將朝向更高速度與精度進行持續開發。

旺矽本次雖未展出相關Micro LED 設備，然而因應Micro LED 市場需求，在晶圓黏接（Wafer Bonding）的方案之下，旺矽研究開發檢測機台，MPI C1 機台在電極尺寸40x15µm都可進行光性與電性的檢測，接受客戶訂購。

(文 Joanne / LEDinside)