【NEPCON JAPAN】Micro LED量產起飛在即,日本設備廠商展技術方案

相較於不久前各國際品牌在CES上推出各種爭奇鬥艷的新產品,參與日本電子展NEPCON的公司,則多關注於技術面的交流跟革新,這兩種截然不同的展會風格正好反映在Micro LED技術的演示上。

雖然在今年的NEPCON Japan上,較少看到廠商主打Micro LED或Mini LED技術及產品,但LEDinside仍觀察到幾家日本的設備公司介紹自家的巨量轉移及檢測技術,針對已在商轉門口就定位的Micro LED顯示技術,提供量產方案。

日本信越展出Micro LED的轉移方案,先將晶圓片放上信越開發的暫存基板,並利用雷射剝離製程Laser Lift-off將Micro LED晶片打到暫存基板上,移除藍寶石基板,後續再透過清洗,去除晶片上的鎵Ga,接著以信越的轉印方案將Micro LED晶片轉移到顯示器背板上。該方案適用於覆晶技術flip-chip,最新一代的轉印可處理4吋晶圓。



之前推出Micro LED轉移以及檢測修復方案的Toray今年也沒缺席。透過攝影檢查LED晶片上的缺陷,並用雷射打掉不合格的晶片,再以其設備精準定位RGBLED進行轉移,最後再次檢驗並補齊缺陷,提升良率。



TDK本次也低調在攤位展出Micro LED製程解決方案的說明海報。針對Micro LED的壞點移除、巨量轉移、晶片檢測修復以及背板接合都有應對的技術設備。可以大量轉移最小到10µm的Micro LED晶片,精準度則來到±1.9µm以下。據TDK表示,其解決方案已獲知名中國及韓國廠商採用。



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